石墨舟的預(yù)熱 1.烘干后的石墨舟由出產(chǎn)、工藝、設(shè)備查看無損壞后，一起將石墨舟進(jìn)行預(yù)熱。 2.預(yù)熱時石墨舟內(nèi)不放硅片，將需求預(yù)熱的舟放入閑暇的爐管，此爐管不進(jìn)行工藝，只需手動把真空泵的閥門打開就行了。石墨舟的預(yù)處理（鍍舟） 將空的石墨舟由出產(chǎn)、工藝、設(shè)備承認(rèn)無反常之后，把石墨舟放進(jìn)爐管開始進(jìn)行預(yù)處理（鍍舟），其他的步驟跟正常的出產(chǎn)工藝都一樣，但到“淀積”那一步時將工藝堅持一個小時，然后再進(jìn)行下面的步驟，等到工藝完畢，石墨舟從爐管內(nèi)出來之后，經(jīng)工藝人員承認(rèn)之后，這個石墨舟就可以正常使用了。
